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2020年7月27日【エレクトロニクス器機】

AGC、EUVマスクブランクスの供給体制を大幅増強へ

NEXT MOBILITY編集部

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EUVマスクブランクス

 

 

AGCは、グループ会社であるAGCエレクトロニクスにおいて、EUV露光用フォトマスクブランクス(以下、EUVマスクブランクス)の供給体制を大幅に増強することを決定した。

 

今年10月から建屋拡張を含めた増強工事に着工し、2022年から生産を開始する予定。

IoTや人工知能(AI)、次世代高速通信(5G)などの本格普及を迎え、半導体チップは計算処理の高速化やデータの大容量化、高集積化を求められている。この対応のため、半導体チップ回路パターンの微細化が必要となるが、従来の光リソグラフィ技術(*1)では限界があり、それに代わる最先端の微細化技術としてEUV(*2)露光技術が注目されていると云う。

 

AGCは、2003年にEUV露光技術を用いた半導体生産プロセスで用いられる消耗部材であるフォトマスクブランクスの研究開発に着手し、保有するガラス材料技術、ガラス加工技術、コーティング技術などを融合して技術開発を進め、2017年にEUVマスクブランクスの生産を開始。これまでも市場のニーズに応じて投資を実施してきたが、今後の更なる市場の伸長に対応するため、今回供給体制の増強を決定した。

 

 

建屋拡張後のAGCエレクトロニクス社(イメージ)

建屋拡張後のAGCエレクトロニクス社(イメージ)

 

 

EUVマスクブランクスは、低膨張ガラス基板の表面に複数の組成から成る膜を積層したもので、この表面に半導体チップの回路原版を形成(EUVフォトマスク)し、それをシリコンウェハ上に転写して半導体チップを形成する。なお回路の微細化に伴い、EUVマスクブランクスに対しては、①非常に小さなサイズの欠陥を限りなくゼロに近づけることや、②非常に高い平坦度であることといった要求水準が、更に高くなっていると云う。

 

 

 

 

AGCは「ガラス材料」から「コーティング」までを一貫して手掛けることができる、世界唯一のEUVマスクブランクスメーカーとして、今後も、市場成長に合わせた量産体制を構築し、2025年には売上高400億円以上、シェア50%を目指すとしている。

 

 

*1)光リソグラフィ技術:KrF(フッ化クリプトン)やArF(フッ化アルゴン)光源を用いて、LSI回路パターンをシリコンウェハ等に転写するプロセス。“7nm世代”と呼ばれる微細なパターン形成は理論上難しいとされている。

*2)EUV:波長13.5nm(1nm=10億分の1m)の極端紫外線。

 

 

[AGCエレクトロニクス社について]

 

– 社名:AGCエレクトロニクス株式会社
– 資本金:300百万円
– 代表:佐藤 弘昌
– 本社所在地:福島県郡山市
– 従業員数:約700名(2019年12月末現在)
– 主な事業内容:

ガラスフリット・ペースト、光ピックアップ等のオプトエレクトロニクス製品、及び半導体製造装置用合成石英製品、EUV露光用フォトマスクブランクス。

 

 

[問い合わせ先]

 

AGC株式会社 広報・IR部長 玉城 和美(担当:中西)

電話: 03-3218-5603
メール:info-pr@agc.com

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坂上 賢治

NEXT MOBILITY&MOTOR CARS編集長。日刊自動車新聞を振り出しに自動車産業全域での取材活動を開始。同社の出版局へ移籍して以降は、コンシューマー向け媒体(発行45万部)を筆頭に、日本国内初の自動車環境ビジネス媒体・アフターマーケット事業の専門誌など多様な読者を対象とした創刊誌を手掛けた。独立後は、ビジネス戦略学やマーケティング分野で教鞭を執りつつ、自動車専門誌や一般誌の他、Web媒体などを介したジャーナリスト活動が30年半ば。2015年より自動車情報媒体のMOTOR CARS編集長、2017年より自動車ビジネス誌×WebメディアのNEXT MOBILITY 編集長。

松下次男

1975年日刊自動車新聞社入社。編集局記者として国会担当を皮切りに自動車販売・部品産業など幅広く取材。その後、長野支局長、編集局総合デスク、自動車ビジネス誌MOBI21編集長、出版局長を経て2010年論説委員。2011年から特別編集委員。自動車産業を取り巻く経済展望、環境政策、自動運転等の次世代自動車技術を取材。2016年独立し自動車産業政策を中心に取材・執筆活動中。

間宮 潔

1975年日刊自動車新聞社入社。部品産業をはじめ、自動車販売など幅広く取材。また自動車リサイクル法成立時の電炉業界から解体現場までをルポ。その後、同社の広告営業、新聞販売、印刷部門を担当、2006年に中部支社長、2009年執行役員編集局長に就き、2013年から特別編集委員として輸送分野を担当。2018年春から独立、NEXT MOBILITY誌の編集顧問。

片山 雅美

日刊自動車新聞社で取材活動のスタートを切る。同紙記者を皮切りに社長室支社統括部長を経て、全石連発行の機関紙ぜんせきの取材記者としても活躍。自動車流通から交通インフラ、エネルギー分野に至る幅広い領域で実績を残す。2017年以降は、佃モビリティ総研を拠点に蓄積した取材人脈を糧に執筆活動を展開中。

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(中島南事務所/東京都文京区)1963年・愛知県生まれ。新聞、週刊誌、総合月刊誌記者(月刊文藝春秋)を経て独立。規制改革や行政システムを視点とした社会問題を取材テーマとするジャーナリスト。

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経済誌「財界」で自動車、エネルギー、化学、紙パルプ産業の専任記者を皮切りに報道分野に進出。2000年からは産業界・官界・財界での豊富な人脈を基に経済ジャーナリストとして国内外の経済誌で執筆。近年はビジネス誌、オピニオン誌、経済団体誌、Web媒体等、多様な産業を股に掛けて活動中。

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1970年日刊自動車新聞社入社。編集局記者として自動車全分野を網羅して担当。2000年出版局長として「Mobi21」誌を創刊。取締役、常務、専務主筆・編集局長、代表取締役社長を歴任。2014年に独立し、佃モビリティ総研を開設。自動車関連著書に「トヨタの野望、日産の決断」(ダイヤモンド社)など。執筆活動に加え講演活動も。

熊澤啓三

株式会社アーサメジャープロ エグゼクティブコンサルタント。PR/危機管理コミュニケーションコンサルタント、メディアトレーナー。自動車業界他の大手企業をクライアントに持つ。日産自動車、グローバルPR会社のフライシュマン・ヒラード・ジャパン、エデルマン・ジャパンを経て、2010年にアーサメジャープロを創業。東京大学理学部卒。

福田 俊之

1952年東京生まれ。産業専門紙記者、経済誌編集長を経て、99年に独立。自動車業界を中心に取材、執筆活動中。著書に「最強トヨタの自己改革」(角川書店)、共著に「トヨタ式仕事の教科書」(プレジデント社)、「スズキパワー現場のものづくり」(講談社ピーシー)など。